激光清洗技术在微电子领域的应用被引量：6

the application of Laser cleaning technology inmicroelectronics industry field

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摘要本文介绍了激光清洗技术在微电子领域的应用,对该技术在清除细微颗粒方面所具有的独到的优越性进行了探讨。 This paper introduces the application of Laser cleaning used in microelectronics industryfield, discussing the particular advantage of the technology.

作者赵志明

机构地区西安交通大学电信学院

出处《洗净技术》 2004年第8期29-34,共6页

关键词激光清洗微电子激光辐射激光器 Laser Cleaning Application

分类号 TN24 [电子电信—物理电子学]

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