ECR离子源高真空微调针阀控制系统

A Position Control-System of a Needle Valve on the ECR Source

本论文介绍所研制的适用于30kV高压端的ECR离子源高真空微调针阀控制系统。系统中被控对象是位于ECR源上的高真空微调针阀,它与地面之间有30kV的电位差。系统的特点是使用光路实现高压绝缘和信息传输。这为解决位于ECR离子源高压端器件的控制问题提出新思路。