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薄膜生长过程的分子尺度模拟 被引量：1

Molecular Scale Computer Simulation on Procedure of Thin Film Growth
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摘要 概述了薄膜生长过程分子尺度模拟的原理及方法,并对不同模拟方法的国内外研究现状进行了分析综述。 Principle and methods of molecular scale computer simulation on procedure of thin Film trowth are interpreted.Current development of different methods are reviewed.
作者 张平则 张高会 崔彩娥 缪强 潘俊德
机构地区 太原理工大学表面工程研究所
出处 《电子工艺技术》 2004年第4期171-173,共3页 Electronics Process Technology
基金 山西省自然科学基金资助项目(批准号:20041065)。
关键词 薄膜 分子动力学 MONTE CARLO模拟 Thin film Molecular dynamics Monto carlo simulation
分类号 TB13 [理学—应用物理]
  • 相关文献

参考文献4

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二级参考文献6

共引文献31

同被引文献9

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引证文献1

二级引证文献8

电子工艺技术
2004年 第4期

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