电容式压力传感器的开关电容接口

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摘要引言目前,扩散硅压阻式桥路和离子注入式硅膜片集成压力传感器的线性都很好,但它们的温度特性差,功耗也较大。相比之下,电容式压力传感器的温度特性要好得多,功耗也小。它的灵敏度是压阻桥路压力传感器的10～20倍,正在研制中的开关—电容(SC)

作者黄跃安戴克中

机构地区长城计算机集团武汉分公司武汉化工学院

出处《工业仪表与自动化装置》 1993年第6期47-49,共3页 Industrial Instrumentation & Automation

关键词电容式压力传感器开关电容

工业仪表与自动化装置

1993年第6期

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