摘要
纳米科学与技术是深入到原子级微观世界的新科技 ,最近获得了极大的进展。这是一个新的科技发展领域 ,有可能使多个科技领域产生重大突破 ,各国都给予极大的重视。文中介绍了纳米科技几个主要方面的最新研究进展情况 :纳米级精度的测量 ;扫描隧道显微镜和原子力显微镜 ;超精密加工和原子级加工 ;纳米材料 ;微型机械和微型机电系统 ;微型机械的制造等。
In this paper,new developments of nano-science and nano-technology is given,such as a) nano-metrology;b) STM,AFM and their new applications;c) Nano-materials: nano-particles materials,nano-structure materials (C-nano-tube,C 60 );d) Micro-machining with SPM;e) Micro-machines and MEMS: micro-robots,micro aerial vehicle,MIMU,micro satellite;f) Technology manufacturing of Micro-machines and MEMS,micro machining,LIGA technology,assembling.
出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2004年第8期21-31,共11页
Manufacturing Technology & Machine Tool
