首次导入Asyst公司之Performance Automation^TM显现东芝致力于提高晶圆厂生产力及投资报酬率之决心

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摘要 Asyst技术公司．(纳斯达克代号：ASYT)近日宣布，世界最大的电子产品垂直整合制造商之一东芝(Toshiba Corporation)位于日本大分县新建的Ф300mm晶圆厂已决定采用Asyst公司之“表现级晶圆厂自动化架构”。这套架构结合了Asyst简称为AMHS的自动化物质处理系统、大气装载埠、射频识别追踪系统。

出处《电子工业专用设备》 2004年第9期40-41,共2页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 Asyst公司表现级晶圆厂自动化架构东芝公司晶圆厂投资报酬率

分类号 F407.63 [经济管理—产业经济]

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电子工业专用设备

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