极紫外自由电子激光投影光刻系统
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10赵立新,严伟,王建,胡松,唐小萍,王肇志,王淑蓉,张正荣,张雨东.数字灰度投影光刻技术[J].微纳电子技术,2009,46(3):181-185. 被引量：4
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