用激光等离子体光源实现的衍射极限下的软X射线投影光刻
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1光学仪器装调[J].中国光学,2002(5):107-107.
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2董宁宁,王帆,崔锦江,徐建根.一种极紫外单色仪波长定标新方法[J].光学学报,2014,34(13):40-44. 被引量:1
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3李敏,董宁宁,刘震,刘世界,李旭,范鲜红,王丽辉,马月英,陈波.13.9和19.6nm正入射Mo/Si多层膜反射镜的反射率测量[J].光学精密工程,2008,16(9):1666-1672. 被引量:3
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4董宁宁,李敏,刘震,尼启良,陈波.极紫外单色仪波长定标[J].光学精密工程,2008,16(9):1660-1665. 被引量:12
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5胡卫兵,羽多野忠,渡边诚.采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置(英文)[J].光学仪器,1999,21(4):218-222.
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6李旭,何飞,陈波.软X射线波段透射光栅检测系统[J].长春理工大学学报(自然科学版),2012,35(3):50-53. 被引量:1
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7李旭,何飞,陈波.软X射线波段透射光栅衍射效率检测系统[J].吉林大学学报(工学版),2013,43(4):1011-1016.
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8王新,穆宝忠,黄怡,朱京涛,王占山,贺鹏飞.13.5nm Schwarzschild显微镜系统及成像实验[J].光学精密工程,2011,19(8):1709-1715. 被引量:3
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9激光技术与应用[J].光机电信息,2005(2):39-40.