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一体化平行弹簧式微位移载物台

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作者 津田展宏 杨妹清
出处 《光机电世界》 1993年第5期21-25,11,共6页
关键词 平行弹簧 微位移 载物台
分类号 TH135 [机械工程—机械制造及自动化]
  • 相关文献
光机电世界
1993年 第5期

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