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193nm波长光刻用的小视场步进器
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作者
Shav.,DC
吴桂英
出处
《光机电世界》
1993年第6期1-3,共3页
关键词
光刻
步进器
集成电路
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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光机电世界
1993年 第6期
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