GaAs衬底上Ga In_(1-x)P膜的电子探针X射线波谱分析被引量：2

X-RAY ANALYSIS OF Ga_xIn_(1-x)P THIN COATING ON GaAs BASE USING WAVELENGTH DISPERSIVE ELECTRON PROBE

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摘要本文用波长色散型电子探针对GaAs衬底上Ga_xIn_(1-x)P混晶膜的元素组分进行了分析,为用SEM-WDS测定该类混晶膜材料作了一次试验。 We have analysed chemical composition of Ga_x In_(1-x) P thin coating on GaAs base using WD-EPXMA in this paper.

作者毛振伟李凡庆左健卢江谭舜张庶元

机构地区中国科学院中国科学技术大学结构分析开放研究实验室

出处《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第6期97-98,96,共3页 Spectroscopy and Spectral Analysis

关键词 X射线波谱 GaxIn1-xP 混晶膜 WD-EPXMA, Ga_x In_(1-x)P mixed crystal

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

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光谱学与光谱分析

1993年第6期

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