摘要
本文叙述了适用于微型机械制造的一种新的工艺—LIGA工艺的技术组成。着重介绍了LIGA工艺中X射线光刻掩模的制作步骤和方法。
The paper narrates a new technology suitable for the making of micromechanics - the technical composition of LIGA technology. The paper introduces emphatically the making step and method of X -ray lithograph etching in LIGA technology.
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1993年第6期67-70,共4页
Optics and Precision Engineering
