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用空间滤波器改善光管式光学均匀器的性能 被引量:1

Using space filter to improve light pipe uniformizer
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摘要 本文报道了一种用空间滤波改善光管式光学均匀性的技术,该技术使用空间滤波器滤除入射光束中光场突变部分。 This paper describes a technique of using space filter in the light pipe uniformizer. With this filter, the uniformity of illumination of light pipe can be improved. Some parameters of the space filter are calculated and experimental results with it is given.
出处 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第11期1052-1054,共3页 Acta Optica Sinica
关键词 均匀器 滤波器 空间滤波 均匀性 uniformizer, space filter.
  • 相关文献

参考文献1

  • 1严琪华,1992年

同被引文献3

  • 1谷怀民,赵震声,贺龙海,张兆平,刘雁群,奚居雄.用于光刻的KrF准分子激光器[J].应用激光,1995,15(1):22-25. 被引量:2
  • 2张雨东,光学学报,1992年,12卷,4期,359页
  • 3王之江,光学学报,1987年,7卷,2期,159页

引证文献1

二级引证文献1

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