摘要
从光学线宽测量光强阈值理论、总体方案、精度分析计算等方面介绍了CDMS—1型电视线宽测量仪的总体设计。
The Paper describes the system design of Model CDMS-I Video Scanning Lincwidth Measurement System in optical linewidth measurement theory, scheme, precision analysis and calculation.
出处
《光学仪器》
1993年第6期23-29,共7页
Optical Instruments
关键词
线宽测量
光学仪器
计量仪器
电视
Linewidth Measurement, Optical Instruments, Metrology Instruments