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“三光栅,四裂相相位反射光栅传感器的研制”
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作者
张忠钰
出处
《光仪通讯》
1993年第3期57-60,共4页
关键词
反射光栅
传感器
研制
三光栅
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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光仪通讯
1993年 第3期
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