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用光进行的原子级尺寸的测量与控制
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摘要
1.前言光的代表性性质一向广为人知的是'可在自由空间中传播,不能定域在尺寸小于其波长的范围'。我们来考查一下用这种'普通'光对物体进行的测量和控制情况。首先考虑作为测量装置的代表的光学显微镜,它观测微小物体的下限,也就是分辨率,是由光的衍射特性决定的。
作者
大津元一
出处
《国外计量》
1993年第2期15-17,37,共4页
关键词
光显微镜
尺寸
测量
显微镜
分类号
TH742.6 [机械工程—光学工程]
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国外计量
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