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激光扫描器用于单次事件扰动检验

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摘要 高级微电子激光扫描器(MEALS)是一种用于存储器集成电路、逻辑电路和其它微电子器件无损检验的光机电装置,可用来确定超快时间响应、漏电、闭锁和电过载的多用诊断系统。最值得注意的是这种装置可用来模拟加速到高能的重离子的某些效应,以确定数字装置对单次事件扰动(没有显著永久性损伤的存储比特变化)的灵敏性。
作者 友清
出处 《国外激光》 CSCD 1993年第4期32-32,共1页
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