结合体构造的Monte Carlo方法模拟扫描电镜成像衬度

Monte Carlo simulation of SEM imaging contrast based on constructive solid geometry modeling

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作者李会民丁泽军

机构地区中国科技大学结构分析重点实验室

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期362-362,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基金国家自然科学基金资助项目 (No .10 0 2 5 42 0 2 0 0 75 0 2 6 90 2 0 60 0 9)

关键词 MONTE CARLO模拟扫描电子显微镜成像衬度表面形貌分析

参考文献2

1李会民,丁泽军.Monte Carlo模拟有特殊几何边界试样的扫描电镜成像衬度[J].电子显微学报,2003,22(6):514-515.
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电子显微学报

2004年第4期

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