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最新的集成电路诊断技术-OptiFIB
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职称材料
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作者
Credence
出处
《电子工业专用设备》
2004年第10期78-81,共4页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
集成电路诊断
OptiFIB
铜镶嵌
光学聚焦离子束
编辑硅片
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子工业专用设备
2004年 第10期
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