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出处 《数码》 2003年第9期21-21,共1页 Digital
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参考文献3

  • 1Van Kampen RP. Bulk-Micromachined Capacitive Servo-Accelerometer (Doctoral Thesis) [D]. Netherlands :Delft University Press, 1995.
  • 2Petersen K. Silicon as a Mechanical Materials[J]. IEEE Electron Devices,1982,70(5):420--457.
  • 3Oppenheim AV, Willcky AS. Signals and Systems[M]. New York:Prentice Ha11,1997.

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