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用聚焦飞秒激光描绘未来计算机用芯片
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摘要
现在的计算机用芯片采用光刻等精细半导体工艺,形成高度集成的平面电路。为了提高计算机的运行速度和运算能力,一个研究方向是进一步挑战半导体加工极限,使线路更精细,功能结构更紧凑密集。
作者
邱建荣
机构地区
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《科技中国》
2004年第6期32-32,共1页
China Scitechnology Think Tank
关键词
聚焦飞秒激光
计算机
芯片
制造工艺
分类号
TP305 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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科技中国
2004年 第6期
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