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用聚焦飞秒激光描绘未来计算机用芯片

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摘要 现在的计算机用芯片采用光刻等精细半导体工艺,形成高度集成的平面电路。为了提高计算机的运行速度和运算能力,一个研究方向是进一步挑战半导体加工极限,使线路更精细,功能结构更紧凑密集。
作者 邱建荣
出处 《科技中国》 2004年第6期32-32,共1页 China Scitechnology Think Tank
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