飞秒激光在微制造中的应用

本文介绍飞秒激光微加工的特点，并着重指出了与长脉冲激光的区别。飞秒激光可产生超高光强、热影响区小且阈值较小，可精密加工所有材料，并且，加工精度极高，可进行亚微米尺寸的精密加工。通过分析飞秒激光微加工的特性，综述飞秒激光微制造的研究现状。