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非蒸散型吸气剂对混合气体的抽气行为研究 被引量:6

Pumping Characteristics of Mixed Gases with Non-Evaporation Getter
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摘要 NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体。测试了SEAS公司的NEG组件ST70 7WP 1 2 5 0对由 80 %H2 和 2 0 %CO组成的混合气体的抽气性能 ,并和抽纯气性能进行了比较。混合气体中的NEG对H2 的抽速受CO影响 ,随H2 吸气量的增加而明显下降。混合气体中的NEG对CO的抽速不受H2 影响。 Mixed gaseous (80% H 2 and 20% CO) were pumped by activating a non evaporation getter (NEG) to see how different it behaves when used to pump a pure gas.We found that NEG significantly reduces the pumping speed of H 2 with an increase of H 2 absorption,whereas it little affects the pumping speed of CO.Our finding is of some technical interest in designing the vacuum system of the storage ring in Shanghai Synchrotron Radiation Facility (SSRF).
出处 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期225-229,共5页 Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
关键词 非蒸散型吸气剂 混合气体 抽气性能 光致解吸出气 SSRF储存环 复合泵 Non evaporation getter Mixed gases Pumping characteristics
  • 相关文献

参考文献2

  • 1[1]Bevenufi C,Francia F.Room temperature pumping characteristic of a Zr-Al nonevaporable getter for individual gases. J Vac Sci Technol, 1988, A6(4)
  • 2[2]Sang Ryul In,Suck Hee Be. Pumping characteristics of Zr-V-Fe nonevaporable getter in mixture of H2 and CO gases. Journal of the Vacuum Society of Japan, 1994,37( 1 )

同被引文献47

引证文献6

二级引证文献58

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