SiC材料，器件和应用：市场现状和将来趋势

对SiC材料，开始是用其机械性能。20世纪90年代开始生产SiC单晶锭，从而开辟新的光电子学和功率电子学应用领域；即用于制备功率电子器件、RF(射频)／微波器件，氮化物基光电器件的衬底以及MEMS(微电子机械系统)和微系统用器件，尤其适合于制造在恶劣环境中使用的微系统器件。