在钽衬底上生长金刚石薄膜

Growth of Diamond Film on Ta Substrate

由于金刚石具有最高的硬度、最好的导热性和非常优良的透光性等一系列优越的性能,化学汽相沉积法生长金刚石薄膜正在越来越引起人们的注意而且它的应用研究也越来越广泛.最近,Norton公司的金刚石薄膜分公司宣称,他们已经制备出直径4英寸的白色金刚石薄膜,这将为金刚石薄膜在光学窗口和光学镀膜方面的应用开辟了新的前景.我们用热丝化学汽相沉积法(HFCVD)在钽衬底上生长出白色金刚石薄膜。