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电子束辐照下钛酸锶钡薄膜的子能量损失谱研究 被引量：1

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摘要 实验发现在较高电流密度的电子束照射下(电流密度约为2nA/cm2),BST薄膜有辐照损伤现象发生.原位实时记录的Ti和O的电子能量损失电离边峰强度比和相对位移的变化表明:损伤过程主要表现为薄膜失氧及其导致的正离子化学价态的变化.具高空间分辨的电子能量损失谱研究证明:相对于具有完整晶体结构的柱状晶晶粒内部,有着特殊结构和化学环境的柱状晶晶粒边界是失氧的主要途径.
作者 饶杰 朱静
机构地区 清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室
出处 《中国科学（E辑）》 CSCD 北大核心 2004年第9期961-968,共8页 Science in China(Series E)
基金 国家自然科学基金 国家973项目 清华大学985项目资助
关键词 电子束辐照 钛酸锶钡薄膜 电子能量损失谱 辐照损伤
分类号 TB43 [一般工业技术]
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参考文献18

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引证文献1

二级引证文献1

中国科学（E辑）
2004年 第9期

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