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圆片制造需要高质量的动力源
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摘要
本文介绍了半导体制造中的气体系统、化学品系统、超纯水系统、冷却水系统的特点及应用,以便更好保障生产。
作者
华金东
机构地区
无锡华润微电子有限公司
出处
《集成电路应用》
2004年第7期17-19,共3页
Application of IC
关键词
圆片制造
大宗气体
特气
化学品
超纯水
冷却水
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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集成电路应用
2004年 第7期
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