期刊文献+

圆片制造需要高质量的动力源

下载PDF
导出
摘要 本文介绍了半导体制造中的气体系统、化学品系统、超纯水系统、冷却水系统的特点及应用,以便更好保障生产。
作者 华金东
出处 《集成电路应用》 2004年第7期17-19,共3页 Application of IC
  • 相关文献

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部