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倍压磁脉冲开关在准分子激光器中的应用 被引量：2

The Application of double voltage magnetic pulse compressor in excimer laser
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摘要 本文提出了将磁脉冲压缩开关结合LC反转倍压电路应用于高重复率紧凑型准分子激光器的技术。对磁脉冲压缩开关应用的原理及结合LC倍压方法在准分子激光器高压快放电激励电路中的工作过程进行了分析 。 In this paper a magnetic pulse compressor (MPC)combined with LC inversion circuit applied in compact excimer laser has been put forward.The principle and the function of MPC combined with LC inversion are described in excimer laser discharge circuit.A practical gas discharge circuit of excimer laser power supply is given.
作者 邓国庆 赵南京 朱志强 张玉亮
机构地区 中国科学院安徽光学精密机械研究所
出处 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期18-20,共3页 Laser Journal
关键词 准分子激光器 脉冲压缩 放电电路 激励电路 开关 高重复率 电源 电激 紧凑型 反转 magnetic pulse compressor(MPC) LC inversion excimer laser
分类号 TN248 [电子电信—物理电子学] TN957 [电子电信—信号与信息处理]
  • 相关文献

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引证文献2

二级引证文献1

激光杂志
2004年 第5期

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