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等离子体技术在印制电路板制造中的应用
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摘要
等离子体加工是在半导体制造中创立起来的一种技术。等离子体是指一种像紫色光、霓虹灯光一样的光,也被称为物质的第四相态。等离子体相态是由于原子中激化的电子和分子无序运动的状态,所以具有相当高的能量,其对于任何有机材料都具有很好的蚀刻作用,因此被应用到印制电路板的制造中来。
作者
毛晓丽
机构地区
南京信息职业技术学院
出处
《电子电路与贴装》
2004年第3期11-16,共6页
Electronics Circuit & SMT
关键词
印制电路板
半导体制造
蚀刻
等离子体技术
灯光
有机材料
状态
等离子体加工
相态
色光
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子电路与贴装
2004年 第3期
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