耐臭氧性氟橡胶

作为下一代的半导体清洗技术,臭氧水清洗相当引人注目。可是,臭氧水清洗装置用橡胶密封材料因高浓度臭氧水而存在有在短期内老化的问题。因此,尼奇阿斯公司针对这一问题,利用独自的材料设计技术,现已开发出了新型的耐臭氧性氟橡胶密封材料-T/2670#。