摘要
通过系统收集和分析SEMI全套有关半导体材料新技术标准的资料 ,能了解国际半导体材料新技术的发展方向 ,指导我国半导体材料的生产和检测。同时 ,结合我国对半导体材料标准的需求 ,提出我国微电子材料标准及新技术科研项目建议 ,对规划编制我国的半导体新技术的标准体系及我国半导体产业的发展也具有重要的参考价值。
Understand the international trendency of the semiconductor material by collecting and analysing SEMI semiconductor material of new technology standard and instruct the producing and examining the internal semiconductor material.
出处
《冶金标准化与质量》
2004年第5期20-22,共3页
Metallurgical Standardization & Quality
