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自动化X光检测系统探测晶圆凸块空隙

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摘要 Feinfocus 公司推出的 WBI-FOX型自动化 X 光检测系统,据称是'业界第一批'专为满足晶圆制造行业特殊需求而设计的高端 X 光检测系统'之一'。这种基于该公司的 FOX

出处《电子设计技术 EDN CHINA》 2004年第3期52-52,共1页 EDN CHINA

关键词 Feinfocus公司 WBI-FOX 自动化X光检测系统晶圆凸块空隙

分类号 TP274.51 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN305 [电子电信—物理电子学]

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电子设计技术 EDN CHINA

2004年第3期

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