半导体动态传感器

本文综述了以半导体硅压阻效应为基础的测量动态参量的各种传感器。在简述硅应变计和半导体压力传感器的基本原理后,又介绍了这些基本敏感元件在球式称重传感器和微型加速度传感器上的应用。 目前,应用微机械加工技术制造的集成传感器有两种类型:一种是由敏感元件和电于线路两者构成的传感器,如集成压力传感器;另一种是在一个基片上构成的复合传感器,如多谐振动传感器。 本文还讨论了与这些集成传感器有关的传感器未来的发展趋势。