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2004年“化合物半导体制造工艺”会议概况

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摘要化合物半导体制造工艺(CS Man Tech)会议，即以前的GaAs Man Tech会议，今年(2004)在迈阿密举行，会议内容扩展到GaN和其它化合物材料。

作者邓志杰

出处《现代材料动态》 2004年第11期2-4,共3页 Information of Advanced Materials

关键词体制会议概况迈阿密会议内容 CS 化合物半导体扩展制造工艺

分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程] TN304 [电子电信—物理电子学]

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现代材料动态

2004年第11期

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