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PIN结光电二极管的工艺原理和制造
被引量：
10
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摘要
PIN结构的二极管是一种特殊的电荷存储二极管,由于功耗小速度快等优点而被广泛应用。PIN结构的光电二极管是一种常用的光电探测器。本文阐述了PIN结构的光电二极管的器件特性和工艺制程,指出工艺过程中存在的问题。
作者
张健亮
陈康民
机构地区
上海贝岭MBU分立器件研发部
出处
《中国集成电路》
2004年第9期72-74,共3页
China lntegrated Circuit
关键词
光电二极管
器件特性
PIN
光电探测器
制程
功耗
存储
速度
优点
电荷
分类号
TN312 [电子电信—物理电子学]
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中国集成电路
2004年 第9期
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