激光波长补偿问题被引量：2

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作者羡一民薛梅

机构地区成都工具研究所规划部成都工具研究所

出处《工具技术》北大核心 2004年第9期142-143,共2页 Tool Engineering

关键词激光干涉仪激光波长补偿方法误差源原理正确使用

参考文献2

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工具技术

2004年第9期

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