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离子镀TiC涂层微观组织及影响因素研究

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摘要 一、前言在离子镀膜中,对涂层晶粒大小的测量一般多采用透射电子显微镜(TEM)的观察进行半定量分析,然而在涂层厚度小于2μm时很难采用TEM的电镜观察,而且电镜试佯的制备需采用膜面对接方式,加之有的超硬涂层不易腐蚀等条件的限制(一般采用离子刻蚀技术,大约4小时)。
出处 《机械工程师》 北大核心 1993年第5期12-13,共2页 Mechanical Engineer
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