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传感器<薄膜件>加工工艺

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摘要薄膜件是传感器的一个敏感元件,它之所以难以加工,主要是薄膜厚度为δ=0.1_(-0.01)^(+0.04),δ=0.2_(-0.05) 不好保证。况且材料为1C_(r18) Ni_9Ti的不导磁的不锈钢。是一种镍铬不锈钢的典型材料。在切削加工中切屑变形大,相应的切削力也大,而导热性较差。

作者白聘修

机构地区机电部第二

出处《机械设计与制造》北大核心 1993年第5期47-47,共1页 Machinery Design & Manufacture

关键词传感器薄膜件工艺

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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机械设计与制造

1993年第5期

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