寻求最终亚-50纳米CMOS器件结构(英文)

Quest for the Ultimate Sub-50 nm CMOS Transistor Structure

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摘要主要介绍了对各种非典型CMOS结构的研究 ,从而寻求最终的结构模式适应不断变化的CMOS发展技术 . In this paper, the work is introduced on investigation on non classical CMOS structure in the quest to find the ultimate transistor structure that will permit evolutionary improvements of the existing CMOS technology base.

作者 Rambhatla A Hackler D R Parke S A

机构地区美国爱达荷州BOISE州立大学电气与计算机系美国半导体有限公司

出处《南京师范大学学报（工程技术版）》 CAS 2003年第4期51-54,共4页 Journal of Nanjing Normal University(Engineering and Technology Edition)

关键词 CMOS器件非典型结构晶体管结构 CMOS, non classical CMOS structure,transistor structure

分类号 TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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南京师范大学学报（工程技术版）

2003年第4期

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