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激光外差干涉测试

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摘要 激光干涉测试具有测量准确度高、测量范围宽、测量速度快、测量过程容易实现自动化等优点。本文介绍一种抗干扰能力强、能在车间现场进行精密计量的激光外差干涉测试法和它的应用。
作者 张晓春
出处 《计量技术》 1993年第2期5-7,共3页 Measurement Technique
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