石英微机械振动陀螺振子的失效分析被引量：3

Failure analysis of quartz micromachined gyroscope

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作者荣丽梅常嗣和姬红阮世池

机构地区电子科技大学微固学院分析中心成都理工大学电镜室

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期620-621,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词微机械惯性器件振动惯性技术微电子技术石英微机械振动陀螺振子晶体表面加工技术

参考文献2

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电子显微学报

2003年第6期

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