同被引文献7
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1刘玉圣,范光照,陈叶金.高精度衍射光栅干涉仪的研制[J].工业计量,2006,16(2):1-3. 被引量：7
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2郝德阜.光栅干涉仪的运动误差原理[J].光学机械,1990(5):46-50. 被引量：1
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3王生怀,杨旭东,谢铁邦.双衍射光栅位移传感器原理及应用[J].计量技术,2008(6):7-10. 被引量：10
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4戴斌飞,武文远,任建锋.用ZEMAX软件辅助迈克耳孙干涉仪实验教学[J].大学物理,2008,27(7):28-33. 被引量：10
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5苏绍璟,刘辉,吕海宝,王跃科.纳米级位移分辨率双光栅系统的多普勒分析[J].光学精密工程,2003,11(1):17-21. 被引量：12
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6沈为民.双光栅干涉仪[J].苏州大学学报（自然科学版）,1992,8(1):72-75. 被引量：3
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7沈为民.部分相干照明双光栅干涉仪[J].苏州大学学报（自然科学版）,1992,8(4):458-460. 被引量：1
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1李树秋.双维精密定位工件台数控系统的研究[J].光学精密工程,1994,2(4):93-100. 被引量：1
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2时轮,王鹤,王池平,许黎明,陈家宝.基于光栅干涉仪的超精密位移定位测量新方法[J].组合机床与自动化加工技术,2016(12):65-67. 被引量：1
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3时轮,马春翔,胡德金,郝德阜.制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究[J].光学技术,2004,30(3):340-342. 被引量：7
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