激光多普勒定位X-Y工作台单向运动系统精度分析

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摘要本文首先介绍了所研究的激光多普勒定位X-Y工作台单向运动系统的组成，同时简单介绍了达到目前的精度所采取的前馈螺距误差补偿措施等办法，然后详细分析了采取补偿措施后激光多普勒定位X-Y工作台单向运动系统的各个误差组成，特别指出了由摩擦力引起的误差的影响，最后分析计算了目前系统的综合定位精度，指出了下一步通过摩擦力的补偿控制来减少滚珠丝杠重复定位误差和滚珠丝杠螺距误差，提高系统的定位精度．

作者袭著燕路长厚张建川郭涛

机构地区山东大学南校区机械学院

出处《Journal of Shanghai University(English Edition)》 CAS 2004年第A01期219-222,共4页 上海大学学报（英文版）

关键词激光多普勒定位 X-Y工作台单向运动系统精度分析摩擦力超精密机床误差补偿

分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]

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