离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用

Application of Ion-assisted Technology in High Power Laser Films

从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面,介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背景、应用 优势以及存在的问题。

Prom ion cleaning, ion-assisted deposition and ion post treatment, the application background, merits and the problems of ion assisted technology for high power laser films are introduced.