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PDP用电子束蒸镀装置

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摘要 电子束蒸镀装置中,离子镀装置被用于MgO膜形成工艺中。以前,MgO膜是通过电子束(EB)蒸镀法而形成的,近期涌现出了采用离子镀法成膜的PDP厂商。这里。
作者 赵秀秀
出处 《显示器件技术》 2004年第3期60-61,共2页
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