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高温压阻式压力传感器的制作 被引量:1

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摘要 在工业和实验室的许多应用中,需要在高温环境状态下测量压力,因而迫切要求开发研制出可供实用的压力传感器.在很多使用场合,对传感器还有体积小的要求.本文介绍一种用SOS(蓝宝石上外延硅)工艺制成的压阻式压力传感器,可在高达425℃的温度状态下使用而不需要冷却,这种传感器可对高达200bar(巴)的压力作静态和动态测量,满量程输出信号约为500mV(半桥)。
作者 叶青 吴仲达
出处 《国外传感技术》 2004年第5期162-165,共4页
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