微流量传感器的制造方法
摘要
课题 提供1种微流量传感器的制造方法，使1对电阻器的电阻值协调一致，并极力减小输出的零点漂移量。
-
1王晓浩,周兆英,叶雄英,张文栋.微流量测量与控制系统[J].测试技术学报,1998,12(3):98-103. 被引量：3
-
2微流量传感器的制造方法[J].国外传感技术,2005,15(1).
-
3席文柱,闫卫平,马灵芝,牛德芳.硅基热流式微流量传感器研究[J].传感技术学报,2004,17(3):446-448. 被引量：3
-
4张卫刚,张滨华,赵春晖.微流量计的信号调理电路[J].仪表技术,2003(2):41-41.
-
5张联,叶雄英,周兆英,李勇,姚健.阀片式硅微流量传感器的研究[J].仪表技术与传感器,1999(12):1-5. 被引量：3
-
6侍艳华,何秀丽,高晓光,贾建,李建平.MEMS热膜式微流量传感器[J].微纳电子技术,2013,50(7):434-441. 被引量：3
-
7刘丽娟,牛德芳.一种新式微流量计的研究[J].测控技术,2000,19(6):18-20.
-
8光玲玲,贾宏光.Lamb波压差式微流量传感器的研究[J].压电与声光,2010,32(1):63-66. 被引量：1
-
9能斌,陆德仁,王渭源.悬桥式微流量传感器[J].功能材料与器件学报,1996,2(3):194-199. 被引量：2
-
10胡纯,樊尚春,郑德智.微流量测量方法及其技术的发展[J].计测技术,2015,35(1):1-8. 被引量：2
