室温基底溅射沉积c轴取向ZnO薄膜被引量：1

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摘要 c轴取向氧化锌(ZnO)薄膜具有较强的压电和压光效应,常常用于声电、声光装置。在体声波(BAW)方面,如用于超声显微镜和薄膜谐振器等;在声表面波(SAW)方面,作为一种传输和相干材枓,它用作滤波器、卷积器、放大器、图象扫描以及谐振器;在导向光波(GOW)中,ZnO薄膜也广泛应用于声光和电光装置和二次谐波发生器等。

作者张燕陵宁兆元任兆杏

机构地区中国科学院等离子体物理研究所

出处《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第7期610-612,共3页 Chinese Science Bulletin

关键词氧化锌薄膜等离子体溅射沉积

分类号 TN604 [电子电信—电路与系统]

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科学通报

1993年第7期

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