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8英寸硅单晶抛光片生产线在京建成

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摘要 报导,由北京有色金属研究总院承担的“直径200mm(8英寸)硅单晶抛光片高技术产业化示范工程”不久前通过国家验收。这是我国建设成功的第一条满足0。25微米线宽集成电路需求的8英寸硅单晶抛光片生产线。该院利用自主知识产权技术,集几十年来在硅材料领域的研究成果和产业化经验,在8英寸硅单晶抛光片技术开发和5、6英寸硅单晶抛光片产业化技术基础上。
作者 李家鸣
出处 《功能材料信息》 2004年第1期55-55,共1页 Functional Materials Information
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