新型高耐蚀材料:电极用Mo-Nb合金

据报导，不久前日立金属开发出第五代钼合金靶，并作为铬单层电极的代替材料而被使用。该公司先后开发了在钼中分别添加了钨、铌、钒的合金，其中Mo-Nb合金不但大大改善了纯钼的缺点，而且其耐腐性大大提高。